光を照射する
検査対象に最適な照明条件を与えます。
マクロ光学検査とは
マクロ光学検査は、対象全体を高速かつ高精度に撮像し、 欠陥・異物・キズ・パターン不良などを検出する検査手法です。
スミックスでは光学設計・照明設計・撮像制御技術を組み合わせ、 お客様の検査工程に最適な検査システムをご提案しています。
スミックスの技術思想
対象を見るのではなく、光を見る
微小異物や欠陥は非常に小さく、 対象そのものを直接観察することは容易ではありません。
スミックスは、対象によって変化した光を利用することで、 見えなかった情報を可視化しています。
散乱光や反射光など、検査に必要な光成分だけを取り出すこと。 それがスミックスの技術の出発点です。
可視化までの流れ
光が変化する
粒子や欠陥によって光が散乱・反射します。
光を抽出する
検査に必要な光成分のみを高感度に取得します。
光を可視化する
取得した光情報を画像として表現します。
技術詳細
観察対象によって、利用する光学アプローチは異なります。 各技術ページでは「なぜ見えるのか」をテーマに、検出の原理と考え方を紹介します。
Particle Detection
なぜPSLが見えるのか
PSLそのものではなく、PSLによって発生する散乱光を検出する技術について解説します。
※ページ作成中 Surface Uniformityなぜ膜厚ムラが見えるのか
薄膜による光学的な変化を利用した、膜厚ムラの可視化技術を紹介します。
※ページ作成中 Crystal Defectなぜ結晶欠陥が見えるのか
欠陥による表面状態の変化を抽出し、強調して観察する技術を解説します。
※ページ作成中 Surface Topographyなぜ表面段差が見えるのか
微細な段差が生み出す反射光の変化を利用した観察技術を紹介します。
※ページ作成中検査対象
半導体向け
| ウェハ | 成膜後ムラ・異物・傷検査 |
|---|---|
| マイクロレンズムラ検査 | |
| マスク | 成膜後検査 |
| 微細異物検査 |
FPD向け
| OLED | CF工程ムラ検査 |
|---|---|
| LTPSスジムラ検査 |