装置部門

ARCscan

ARCscanとは、ミクロ観察では困難な広い領域におけるパターン形状の均一性の解析/評価を可能とする装置です。
観察対象を最適化した光学条件を実現し、従来では困難であった高感度・高速・大面積の検査を可能としました。

主な仕様

1. ワークサイズ：300ｍｍ×300ｍｍ以下、t＝17ｍｍ以下
2. 撮像光学系　：ラインスキャン方式、専用LED照明
3. 駆動系　　　：カメラΘ軸
   　　　　　　：テーブルX軸、Y軸、Θ軸、手動Z軸（17ｍｍ）

ハードウェア概要

1. メインPC 　　　　　　 ：本装置のすべての制御を行う制御ユニットとしてパーソナル・コンピュータを用います。
2. 高解像度カラーモニター：水平解像度　1920×1200画素
   　　　　　　　　　　　：画面サイズ　21インチ以上
   
3. マクロ照明ユニット　　：本製品用に開発したLEDアレイ照明を搭載
4. 撮像センサー　　　　　：本製品用に開発したCCDラインセンサを搭載
   　　　　　　　　　　　：256階調、8bit出力
   
5. ステージ仕様　　　　　：マイクロメータによる光軸高さ調整機能を搭載
   　　　　　　　　　　　：10ｍｍ以下のサンプル厚に対応
   　　　　　　　　　　　　(反りや表面状態によって不可能な場合があります。)
6. 視野サイズおよび画素サイズ(分解能)

対応視野サイズ	スキャン長	試料面での画素サイズ
60mm〜300mm	150mm（ｺﾝﾊﾟｸﾄﾀｲﾌﾟ）	20μm〜56μm
	300ｍｍ（ﾜｲﾄﾞﾀｲﾌﾟ）

主なソフトウェア仕様

1. オペレーターモード　　　　：一定条件での繰り返し撮像
2. マニュアル撮像モード　　　：角度、照明、露光時間、明るさ一定の組み合わせ自動撮像機能
3. 自動条件設定モード　　　　：ワークに対して最適角度画像を抽出（オプション）
4. 結果閲覧・レシピ作成モード：画像の閲覧、撮像条件の情報を保存

※撮像した画像はBMP形式で保存し、撮像条件の情報を含みます。

MIT tool（Macro Imaging Technology Tool)ソフトウェア

撮像したマクロ画像データの各種画像処理ツールを搭載
エリア指定，ライン指定，CSVファイル化，プロファイル表示，画像トリミング，縮小拡大
インデックスカラー化，ヒストグラム作成，フィルタリング・補正等の機能を有します。）

拡張機能（オプション対応）

画像合成、３D表示、周波数解析
※各種画像処理機能は、すべての画像での対応を保証するものではありません。

主な撮像アプリケーション

• ナノインプリント転写性の解析評価、モールド劣化解析評価、離型剤塗布状態の観察・評価
• フォトニック結晶パターン評価、PSSの検査、評価液晶パネル・有機ELパネルのレジストパターンむらや成膜プロセスにおける各種解析評価
• ウェハー・レジストパターンむら検査・評価、デフォーカス評価、各種のナノ＆ミクロ・スケール・パターンの均一性評価解析

追加仕様

HEPAフィルター（クリーン度を保証するものではありません）、ローダー対応、欠陥検出ソフトウェア

ARCscanで撮像した高感度マクロ画像

ナノインプリント・プロセスで形成されたサブミクロン・ピラーパターンのウェハー

106〜159nmホールのレジスト・パターン

エッジ反射光強度とホール直径の相関性

詳しくはお問い合わせからお尋ねください。