製品一覧

OAS1　ユニット（パターンムラ検出光学ユニット）

OAS1のメイン・モジュール

OAS2　ユニット（微細パターンムラ検出光学ユニット）

OAS2のコア・コンポーネント

OAS3　ユニット（超高感度マクロ欠陥検出光学ユニット）

OAS3のコア・コンポーネント

マクロ解析評価装置

ARCscan

ARCscan 仕様　（コンパクト筐体タイプ・ワイド筐体タイプ）

筐体タイプ	コンパクト筺体タイプ		ワイド筺体タイプ
搭載光学系	RE	ME	RE	ME
モデル名	RE200-C	ME200-C	RE200-W	ME200-W
ピクセルサイズ	20μm 〜44μm	20μm 〜44μm	56μm	56μm
筐体サイズ	W780×D1200×H1861　(�o）		W1018×D1477×H1861　(�o）
ステージ部	150mm角		300mm角

_{※＜搭載光学系＞REタイプ：ダイレクト反射光学系タイプ／MEタイプ：超低ノイズカメラ搭載タイプ
※＜ステージ部＞標準仕様：黒色艶消しプレート（吸着なし）}

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